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中國電子行業(yè)超純水國家標準

更新時間:2017-06-23      點擊次數:2795

電子行業(yè)對超純水的要求:

電阻率MΩ.cm(25℃) 18以上(95%時間)不低于17 15(95%時間)不低于13

硅≤μg/l 2 10

>1μM微粒數≤個/ml 0.1 5

細菌個數≤個/ml 0.01 0.1

銅≤μg/l 0.2 1

鋅≤μg/l 0.2 1

鎳≤μg/l 0.1 1

鈉≤μg/l 0.5 2

鉀≤μg/l 0.5 2

氯≤μg/l 1 1

硝酸根≤μg/l 1 1

磷酸根≤μg/l 1 1

硫酸根≤μg/l 1 1

總有機碳≤μg/l 20 100

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